新材料技術
Ferrotec(中國)基于新材料技術,專業生產精密石英、精密陶瓷、精密硅部件等半導體用新材料。
a. 高精密數控加工設備,如Mazak數控加工中心,OKK數控加工中心,岡本立磨機,太陽工機立車,福裕平磨機等;
b. 日本進口美濃天然氣燒結爐,自帶先進廢棄氣處理系統;
c. 超大型冷等靜壓成型機,有能力成型最大直徑1000mm,高1200mm的大型陶瓷材料;
d. 先進的研發輔助設備,如XRD晶相掃描儀,基恩士激光光學顯微鏡等;
e. 高精密度的自動檢測設備,如三次元測量儀,全自動影像測量儀,分光測色儀等;
f. 全自動化學洗凈線;
g. 100級氧化鋁和100級CVD碳化硅洗凈線各一條;
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