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金屬加工
Metal Processing
大型腔體制造
國內精密機械加工制造商
      杭州大和熱磁電子有限公司真空技術事業部始于1996年，現有員工1439人，是國內最大的半導體級鋁腔體和真空不銹鋼焊接腔體制造商之一。公司擁有百余臺精密數控機床及多條UHV洗凈生產線，規范的品質管理以及一批高素質的專業人員，專業從事磁性流體密封傳動裝置、精密真空零部件、鋁制真空腔體、不銹鋼焊接真空腔體、真空閥、精密鈑金件等的開發和制造。
      產品廣泛應用于半導體制造、精密儀器、太陽能裝備制造、科學工程裝備、醫療機械、真空鍍膜等高新技術領域裝備制造業。根據客戶需求，按照圖紙加工制造、為客戶提供設計、制造、組裝等全套精密加工解決方案，以高科技含量和高品質在國際、國內市場上贏得一致美譽。
聯系電話：0571-86699985
郵箱：vfsales@ferrotec.com.cn
地址：杭州市濱江區濱康路777、668號
不銹鋼真空腔體
· Ferrotec真空事業部不銹鋼腔體月產可突破350臺以上；
· 現有最大體積可達5185mm長*2100mm寬*2330mm高；
· 擁有美國ASME及GB鍋爐和壓力容器規范D1和D2資格認證。

不銹鋼腔體具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、真空度處于0.1-10-5Pa之間，能夠在-270—900℃工作等優點。加工過程中必須要求：焊接縫在腔內、腔內400目拋光、腔體進行電解拋光。
不銹鋼腔體主要由SUS304或SUS316材料氬弧焊接而成，廣泛應用于PVD,PECVD,CVD,MOCVD,OLED,刻蝕設備及低溫制冷行業。
不銹鋼真空腔體1
不銹鋼真空腔體1
不銹鋼真空腔體2
不銹鋼真空腔體2
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鋁制真空腔體（定制）
· 鋁制腔體月產可突破500臺以上；
· 多條可用于半導體腔體清洗的UHV清洗線(Max:7060*4500*1200mm)；
· 全球知名半導體裝備公司Etch機臺傳輸腔體的供應商；
· 獲得國內外關鍵半導體設備廠商生產體系和質量體系認證。

主要用于半導體行業的各種反應、傳輸腔等。
Ferrotec真空事業部不銹鋼腔體月產可突破350臺以上；
現有最大體積可達5185mm長*2100mm寬*2330mm高；
擁有美國ASME及GB鍋爐和壓力容器規范D1和D2資格認證。
鋁制腔體月產可突破500臺以上；
多條可用于半導體腔體清洗的UHV清洗線(Max:7060*4500*1200mm)；
全球知名半導體裝備公司Etch機臺傳輸腔體的供應商；
獲得國內外關鍵半導體設備廠商生產體系和質量體系認證。
Matrix diagram of applications in various fields
各領域的應用之矩陣圖
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五金機械廠機械廠結構件；
該產品的生產基地

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