ferrotec大和热磁硅部件-杭州大和热磁

Ferrotec類別：硅熔接企業產品的與硅制精密五金企業產品的

Ferrotec（中國）硅熔接和硅精制品致力于為半導體硅片處理工藝中提供理想的硅片承載工具，減少硅片金屬污染，錯位等缺陷，以及為半導體前沿工藝提供突破性解決方案。主要為硅片高溫處理和LPCVD沉積工藝，提供高純度的多晶硅舟，保溫筒，噴射管等；為半導體蝕刻機提供硅環，showerhead等產品。

SiFusion產品

應用于各類半導體硅片表面處理工藝設備中，如氧化、退火、CVD工藝等。由于硅舟和硅片均使用高純硅材料，具有相同的物理性質，因此可以避免因為熱膨脹系數和熱導系數不同，造成的晶格錯位，提升硅片良率。Ferrotec針對客戶工藝中的問題，對產品進行獨特的設計，為客戶解決硅片背面劃傷，晶格位錯，金屬污染和顆粒問題。

長齒舟

熔接多晶硅舟是為擴散工藝設計的，可替代現有的石英和碳化硅產品，代表的是高純度高性能的技術。它對消除顆粒至關重要。消除這些影響以提高良率，使得硅熔接舟成為新一代集成電路架構中重要的載體.

短齒舟

消除這些影響以提高良率，使得硅熔接舟成為新一代集成電路架構中重要的載體.

橫型硅舟

同時硅舟配套噴射管、保溫桶及內管等輔助配套產品均可生產。

噴射管

可與硅舟配套使用

保溫桶

可與硅舟配套使用

擋片

硅部件產品

Ferrotec（中國）精密硅制品采用德國Wacker，美國REC半導體級別的Floatzone等材料，生產加工成各種類型的硅部件，為客戶的工廠的產能利用率、生產效率及產量提供更多優勢。

硅聚焦環

主要規格有8寸與12寸，可按照客戶要求加工不同尺寸和外觀要求的硅環產品。應用于半導體硅片干法刻蝕工藝設備，FerroTec整合了硅材料拉制，產品加工和洗凈，使得產品更具有品質，成本，交期和優勢。

硅電極（分流盤）

主要規格有8寸與12寸，可以按照客戶要求進行不同氣孔孔徑的加工。應用于半導體硅片干法刻蝕工藝設備，具有自主單晶硅錠材料拉制能力及材料成本優勢,以及擁有自主開發的洗凈線，可滿足該類產品較高的潔凈度要求。

其他硅機加工類

包括圓盤、硅板、籽晶等產品，主要應用于其他半導體工藝。可按照客戶要求，進行高精度尺寸和外形加工。

專利科技

減少損傷

延長使用壽命

延長清洗周期

Ferrotec精密硅部件優點

采用專利科技，使用超高純單/多晶硅材料；能減少接觸點損傷，防止晶粒錯位及降低顆粒；極大地延長例行清洗周期；使用壽命延長，提升晶片合格率。

Matrix diagram of applications in various fields

各領域的應用之矩陣圖

半導體相關

硅熔接和硅精制品系列

硅舟、噴射式管、保溫隔熱桶等持續高溫爐具的裝置，包括用在半導體材料技藝被氧化、退火技藝、CVD等技藝的裝置硅環、硅電極片等，app于半導體器件硅片干法刻蝕新工藝設施設備一些圓板、硅板、籽晶等食品，大部分APP于相關半導體材料加工過程大內徑單晶體硅棒，其主要中用晶圓襯底版研發及硅質光電器件設備耗費核心部件的制做