400 0518 700
精密石英
Thermoelectric semiconductor cooler
Ferrotec 精密石英
精密模具石英石
Ferrotec(中國)精密石英采用高品質進口原材料,經過一系列的先進加工工藝處理而成,歷經20余年的研發生產,Ferrotec可批量生產12",8"以及8"以下半導體裝置用石英制品,并具備下一代18"石英產品的研發能力。同時能夠根據客戶要求選用合適的原材料進行加工生產。
精密石英分類
Ferrotec(中國)為滿足客戶需求,可生產多種多樣的石英產品,依托精密的加工技術、焊接技術、表面處理(洗凈)技術三大核心技術優勢以及具有全球化視野的專業技術團隊支持,為客戶量身打造高品質產品。
石英管類
石英管類
主要包括反應管,內管,外管,爐管,噴射管等產品;主要應用于半導體擴散、氧化、成膜、熱處理等硅片表面處理工藝設備,對裝配尺寸、潔凈度、密封度有較高的要求。
石英舟類
石英舟類
分為5寸,6寸,8寸,12寸各類規格舟,應用于各類表面處理工藝設備、濕法洗凈工藝中,舟類產品直接裝載硅片,并大多應用于自動上下片工藝中,所以石英舟的尺寸精度和潔凈度非常重要。
石英機加工類
石英機加工類
包括各種環、圓盤等產品,主要應用于半導體硅片刻蝕、沉積等工藝,對尺寸精度、潔凈度、外觀狀態等方面的要非常高,部分產品不允許返修,必須一次成型,所以對加工能力要求高。
石英治具類
石英治具類
主要有裝載盤、底座、封蓋等產品;應用于各種半導體處理工藝的輔助設備中,其精度視應用的工藝而定。
石英洗凈類
石英洗凈類
包括石英槽、石英支架等產品,主要應用于半導體濕法洗凈工藝,精度相對不高,但對外觀、潔凈度有較高的要求。
資料下載
精密石英樣冊
會使用
聯系起來點話: 0571-86698292
練習通電話: 0571-86698292
耐熱性
耐熱性
透光性
透光性
高純度
高純度
電氣絕緣
電氣絕緣
化學穩定
化學穩定
Ferrotec精密石英優點
耐熱性、透光性、高純度、電氣絕緣、化學穩定高。高精度的石英制品不僅為300nm半導體芯片制程提供可靠保障,也能滿足太陽能光伏行業在擴散制程中對低鐵、低銅的要求,被廣泛應用于半導體擴散刻蝕工藝、光纖預制棒加工、LED照明制造及太陽能光伏等工業領域。
Matrix diagram of applications in various fields
各領域的應用之矩陣圖
半導體相關
精密石英
半導體材料晶圓加工對外擴散,刻蝕等施工工藝;半導體器件晶圓濕法清洗好之后加工制作工藝 ;半導硅片外延性EPI等施工工藝;
LED制作方法外延性MOCVD,IC芯片技術;
光纖寬帶預設棒:制作具體步驟中的爐心管、噴燈,相互配套防松螺絲件;
該產品的生產基地

17--------m.lifw.cn

422--------m.qhdcenter.cn

516--------m.w8595.cn

410--------m.uojk.cn

198--------m.dram.net.cn

421--------m.aojk.cn

143--------m.jdjscl.com.cn

839--------m.fzbankcomm.com.cn

343--------m.hxptkv.cn

329--------m.tmyllc.cn