精密洗凈技術
為應對不斷提升的半導體制程要求，依托美國、日本等技術支持，成功完成陶瓷溶射工藝的研發并量產，擁有國際先進的洗凈生產線，努力搶占半導體、TFT產業技術制高點。
技術背景
（1）Ferrotec長期從事精密加工清潔15年，沉積了很多心智成熟的清潔BKM，并在持續時間改進建議；
（2）與世界上知名度半導體器件生產設備商進行合作，共同利益激發進取的洗掉系統；
（3）將于2019第一次每季度建設精密機械洗去產品開發部機構，明顯增強已過期數據分析和品質可靠工藝產品開發部特性；
洗凈環境
（1）Cu/Non-Cu進行不一樣的產出線充分丟開，縮減穿插被污染的；
（2）各種不同工藝的家電清晰防護，用淘瓷石英晶體家電清晰線，拉低嚴重污染；
（3）脫塵室適用鉛垂流途徑，脫塵區域更易調整；
（4）潔凈室內分為干濕分開分開，變低交叉的情況環保問題的危險；
設施設備 | 沈陽車間 | 哈爾濱廠家 | 銅陵生產車間 |
空油壓機 | 有油空壓力機 | 有油空液壓機 | 全無油空油壓機 |
CDA/N2 | CDA | N2(99.999%) | N2(99.999%) |
注射用水 | 高純水（>16MΩ） | 超去離子水（>18MΩ） | 超純水（>18MΩ） |
脫塵室 | 亂流式細胞術循環法（1000級/100級） | 亂普魯士藍染色循壞（1000級/100級） | 徑直層免疫印跡循環往復 （100級/10級） |
加工工作環境 | 許多種新產品比調 | 特用種植線、生態可以控制 | 專門制作線、氛圍實時控制 |
自然化 | 無 | 引出自己的噴砂、直流高壓沾水洗滌等自己的化裝置 | 建立主動噴砂、油田沾水等主動化的設備 |
精密鑄造的衡量裝備
量測項目 | 量測的設備 | 新廠 |
表面層Particle | 外層粒子儀 | 0.1um |
液狀體particle | LPC | 0.1um |
主要尺碼 | CMM | 0.001mm |
口徑 | 成像儀 | 自動定位化、0.001um |
宏觀形貌 | Keyence | 3000X |
微觀世界紋裂 | C-SAM | 可截面掃描儀掃描 |
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