ビッグウェーハ技術
ビッグウェーハ技術
フェローテック（中國）の12インチのビッグウェーハ技術(特に単結晶引き上げ技術やポリッシング技術)の突破により、ウェーハの生産キャパーをさらに向上させ、300mmの半導體ウェーハを月産20萬枚という目標を少しずつ実現しています。
ビッグウェーハ技術
Wafers for Semiconductor
技術発展路線 技術的設備能力 生産プロセス
Ferrotec（中國）は2002年に東芝セラミックスから先進的な100-150mmウエハーの生産ライン、加工技術及び管理システムを導入し、生産量は40萬枚/月に達しました。
その上、技術の導入、吸収及び、勇于創新を通して、知的財産権があり40-16nmレベルの8インチ半導體ポリッシュウエハーの技術が深入分析探討開発されて、泰國半導體用ウエハー生產加工系統を使い、例えば、3-wayラップ機、キャリアレスファイナル洗浄系統、AGV搬送システム、天井搬送システムなど、貼り付けから、打磨、剝離までの一貫全自動ポリッシュラインが導入され、Ferrotec（全國大）自主性的に深入分析探討開発した引き上げ爐を使って、さらに、生産的的能力を積極させました。輕輕地に8＂、12＂など大小口徑規格的ウエハーの生産的的能力を備えつつあります。天下でも更高級の大小口徑規格的半導體ウエハー産業、深入分析探討勇于創新と開発示范園區の建設を実現し、全國大內始めての同時に200ｍｍ半導體ウエハー410萬枚/月、300ｍｍ半導體ウエハー10萬枚/月を提拱するメーカーになることを目指しています。


我々のウエハーは抵擋、平淡度、パーティクル、COP、合金金屬汚染など様々の面で監管されていて、メモリやロジック、パワーデバイス、センサーなど領域で實用されています。隨便CMOS、EPI、SOI、MEMSなどの基盤として實用有可能であり、中華內半導體IC産業、自動車、コンピュータ、網絡通訊、消費電子、工業、醫療、縣政府、飲水機だど領域は8＂及び12＂半導體ウエハーに対する必須要を埋め合わせます。國內外市場ウエハー供給の穩定性とIC産業構造の整和性及び安定性を保証し、中華半導體産業の発展に注重な后果があります。


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