SiFusionと高純度シリコン製品 |
シリコンボート、インジェクター、ペデスタルなどの熱処理爐用製品は、主に半導體製造過程中の酸性反應?アニール?CVD等のプロセスに施用されています;フォーカスリング?シャワーヘッドなどは、半導體ウェーハのドライエッチングプロセスに運行されています各種シリコンプレートやシードロッド(種結晶)等の製品は、他の半導體プロセスで便用されます;大直徑単結晶インゴットは主にウェーハの生産や、半導體製造傳動裝置の所耗品パーツを製作する的材料として安全使用されています;
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