精密洗浄技術
精密洗浄技術
継続的に向上している半導體制の要求に対応するために、アメリカ、日本の一流技術の支持を頼りに、陶磁器の溶射技術の研究開発と量産を成功させました。
技術発展路線 技術及び設備の能力 生産プロセス 実用新案國家特許
  • 2000 年
    表面層処執行主席業部発足。
  • 2001 年
    350nmプロセス半導體PVD、CVDおよびエッチャー安全裝置零配件洗浄プロセスを開発して、量産開始。
  • 2003 年
    250nmプロセス半導體PVD、CVDおよびエッチャー儀器零部件洗浄プロセスを開発、量産開始。細密洗浄技術開発センター設立。
  • 2005 年
    FPD製造試驗裝置零配件洗浄業務開始。
  • 2007 年
    半導體およびFPDメーカとの取引拡大。
  • 2011 年
    天津開發區富楽徳科技信息発展有效工司設立。
  • 2013 年
    45nmプロセス半導體製造系統設計零部件の洗浄技術確立、量産開始。G8.5FPD製造提升裝置結構件量産開始。
  • 2015 年
    河南富楽徳科枝発展不多機構設立。28nmプロセス導體製造配置結構件の量産開始。
  • 2017 年

    富楽徳新材料技術発展（大連）有現單位設立。G10.5液晶電視機製造設施零部件量産開始。アルミ溶射量産開始。G6H有機EL製造系統設備零部件および16nmプロセス半導體製造系統設備零部件の洗浄プロセス確立。
  • 2018 年
    富楽徳（大連）は大連工場の外面処理分享実験室の原形を創建し、超音波斷層スキャン顕微鏡を付出し、CMM、He detector、電位滴定計、LPC及びICP MSなどのハイテク設備を設置し、高純英熔融石英線を建設し、ハイエンド設備をオンラインする。

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