精密洗浄技術
精密洗浄技術
継続的に向上している半導體制の要求に対応するために、アメリカ、日本の一流技術の支持を頼りに、陶磁器の溶射技術の研究開発と量産を成功させました。
技術発展路線 技術及び設備の能力 生産プロセス 実用新案國家特許

技術時代背景：

（1） フェローテック(中國)は18年間精密洗浄事業を行っております。數が多くまた成熟な洗浄BKMを持っています。技術上の革新、イノペーションを継続続く。

（2） 世界上的に有な半導體試驗裝置メーカー精密加工洗浄技術を開発しております。（3） 失効介紹及び新技術研究方案開発力量が上昇するために、洗浄技術力學習を目指し、2018第4四半期で新たな緊密洗浄技術開発センターを設立。 

洗浄環境：（1）プロセス別の洗浄ラインを完備し、Cu/Non-Cuラインを構築する事で、汚染リスクの低減を図っております。（２） ダウンフロークリーンルームにより無塵環境を実現 設備技能

設備

東莞工場

大連工場

銅陵工場

コンプレッサー

コンプレッサー

コンプレッサー

オイルレスコンプレッサー

CDA/N2CDAN2(99.999%)N2(99.999%)
           純水高い純水（>16MΩ）超純水（>18MΩ）超純水（>18MΩ）

クリーンルーム

亂流策略クリーンルーム（クラス1000，クラス100）

亂流方式方法クリーンルーム（クラス1000，クラス100）

ダウンフロークリーンルーム（クラス100，クラス10）

生産環境

多種類製品が結合

専用生産ライン、環境コントロールできる

専用生産ライン、環境コントロールできる

自動化設備

無し

自動ブラスト儀器、自動高圧洗浄機

自動ブラスト保護裝置、自動高圧洗浄機


精密計測設備


計測項目

計測機

検出的能力

外表パーティクル

パーティクルカウンター

0.1um

液態體パーティクル

リキッドパーティクルカウンター

0.1um

寸法検査

四次元測定機

1μm

微細穴

投影機検査器

全自動、1μm

ミクロクラック

Keyence

3000X

マイクロクラック

C-SAM

超音波顕微鏡



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422--------m.qhdcenter.cn

516--------m.w8595.cn

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