セラミックス
セラミックス
フェローテック(中國)はセラミックス技術を基に、石英、セラミックス、シリコンパーツなどの半導體用の新材料を生産しています。
技術発展路線 ファインセラミックス 高精度シリコン製品 精密石英
Ferrotec(中國)は、精密シリコン製品の分野で高精度加工裝置と高度な資格を持つ専門家グループを擁しています。
當社のシリコンパーツやボートは半導體製造安裝で幅広く使われています。シリコンボートは主に熱酸性反應、アニーリング、LPCVDなどの熱処理爐に應用され、シリコンフォーカスリングやシャワーヘッドは主にプラズマエッチング安裝に應用されており、 國外外の多くの半導體メーカーからその優位性を高く評価されています。


Ferrotecは耐熱性模式參數な製品を検査する上で必需な、三回元測定器、プロジェクター、粗さ計、比抵擋計、LPC、その他の試験系統設計等、様々な高精密度較の試験系統設計を備えています。 また、50以內の高精密度較耐熱性模式參數なCNCマシニングセンタ、CNC旋盤、三視圖研削盤、ワイヤーソー、バンドソー、溝切機、センタレス研削盤等を稼動しています。專業化開発の半導體系統設計向けパーツの高純度洗浄ラインを備えており、7nmプロセスの請求をも満たせます。


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